Laboratorium Skaningowej Mikroskopii Elektronowej (SEM),

Wydział Fizyki, Astronomii i Informatyki Stosowanej

Skaningowy mikroskop elektronowy (SEM) typu Quanta 3D jest wszechstronnym instrumentem pozwalającym na określanie właściwości materiałów i ich składu pierwiastkowego.  Obrazowanie próbek można przeprowadzać  w trzech trybach: wysokiej próżni, niskiej próżni oraz środowiskowym (ESEM), szczególnie ważnym dla badań obiektów biologicznych. SEM posiada detektor typu  S/TEM dla badań prowadzonych w jasnym i ciemnym polu obrazowania próbek.

Mikroskop SEM jest  wyposażony w detektory analizy fluorescencji rentgenowskiej (EDS oraz WDS) pozwalający na prowadzenie analizy chemicznej badanych próbek o poziomie czułości rzędu 0.1% składu próbki. Dodatkowo, SEM posiada układ badania dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych pozwalający na określanie orientacji ziaren krystalograficznych próbek.

Mikroskop SEM jest zintegrowany z kolumną skanującej zogniskowanej wiązki jonowej (FIB). Używanie wiązki jonowej pozwala na modyfikacje powierzchni badanych próbek. Umożliwia także przygotowywania specyficznych obszarów próbek do badania ich przekrojów poprzecznych za pomocą mikroskopii transmisyjnej  (TEM).

Duża komora pozwala na badania układów o stosunkowo dużych rozmiarach.

Aparatura badawcza:

- Skaningowy mikroskop elektronowo-jonowy (SEM/FIB) typu Quanta 3D FEG firmy FEI.

Usługi badawcze:

Obrazowanie SEM

- obserwacja morfologii powierzchni z wykorzystaniem elektronów wtórnych (SE);

- obserwacja względnych zmian chemicznych powierzchni z wykorzystaniem elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) czułych na zmiany średniej liczby atomowej.

Mikroanaliza Rentgenowska (EDS)

- Ilościowa i jakościowa analiza składu chemicznego przypowierzchniowych warstw próbki w mikroobszarach z wykorzystaniem mikroanalizy rentgenowskiej.

Przygotowywanie cienkiej foli "lamelli" o grubości ok. 100 nm z próbki „bulkowej” dla pomiarów na mikroskopie transmisyjnym TEM z wykorzystaniem preparatyki jonowej FIB.

Stosowane techniki pomiarowe:

- Obrazowanie SEM - równoczesne obrazowanie preparatu w trybie elektronów wtórnych SE (topografia powierzchni) oraz wstecznie rozproszonych BSE (zmiany chemiczne powierzchni);

- Obrazowanie w trybie środowiskowym ESEM oraz zmiennej próżni LowVac preparatów nieprzewodzących i biologicznych;

- Ilościowa i jakościowa analiza składu chemicznego przypowierzchniowych warstw   próbki w mikroobszarach z wykorzystaniem mikroanalizy rentgenowskiej (EDS).